CVD Diamant:
Qualitätskontrolle

Qualitäts-
kontrolle

Zur Qualitätskontrolle werden die thermischen, optischen, dielektrischen und mechanischen Eigenschaften der am Fraunhofer Insitut IAF hergestellten Diamantscheiben routinemäßig untersucht. 

Die Bestimmung der Wärmeleitfähigkeit erfolgt mit einem Laser-Flash-Verfahren (siehe Bild). Die Infrarot-Absorption bei 10.6 µm – eine wichtige Größe für die Anwendung als Hochleistungs-CO₂ Laserfenster – wird mit Hilfe eines Laserkalorimeters ermittelt. In Zusammenarbeit mit dem Forschungszentrum Karlsruhe werden die dielektrischen Eigenschaften untersucht. Dort werden unter Verwendung eines hemisphärischen Fabry-Perot Resonators ortsaufgelöste tan d Messungen bei 145 GHz durchgeführt. Weiterhin werden routinemäßig die Dickenhomogenität, die Oberflächenplanität, die Phasenreinheit und die mechanische Festigkeit kontrolliert. 

Experimenteller Aufbau zur Bestimmung der Wärmeleitfähigkeit von CVD Diamantscheiben mittels des Laser-Flash-Verfahrens