CVD Diamant - Bearbeitung


	CVD Diamant: Bearbeitung	Laserschneiden Schleifen/Polieren Metallisieren

Laserschneiden	Laserschneiden von CVD Diamant Die extreme Härte von Diamant macht ein mechanisches Schneiden bzw. Sägen der Scheiben praktisch unmöglich. Aus diesem Grund wird ein güte-geschalteter Nd:YAG laser eingesetzt, um die gewünschten Formen aus den Diamantscheiben herauszuschneiden.

Schleifen/Polieren	Nach der Abscheidung werden die grobkörnigen, rauhen Oberflächen der Diamantscheiben geschliffen und poliert. Hierfür wird eine am IAF entwickelte Schleif- und Läppmaschine eingesetzt. Sie erlaubt die gleichzeitige Bearbeitung von drei Scheiben mit bis zu 10 cm Durchmesser. Rauhigkeitswerte von unter 20 Å (rms) lassen sich durch eine optimierte Prozeßführung erzielen.
		Laser Interferogramm einer polierten Diamantscheibe mit 50 mm Durchmesser (gemessen bei 633 nm). Es läßt sich nur ein einziger Interferenzstreifen erkennen - ein Beleg für eine perfekt plane Oberfläche.


Metallisierung	Für die Herstellung von Diamant-Wärmespreizer ist die Metallisierung von zentraler Bedeutung. Mehrlagige Metallisierungsfolgen wurden entwickelt, wobei die einzelnen Lagen als Haftvermittlungsschicht, als Diffusionsbarriere, als elektrische Zuführung für hohe Stromstärken sowie als Oberflächenschicht mit guten Benetzungseigenschaften durch das Lot fungieren. Kundenspezifisch können lithographisch strukturierte Metallisierungen realisiert werden, z.B. für die Einzelansteuerung von Laserdioden in Barren.


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Laserschneiden von CVD Diamant