CVD Diamant:
Mikrowellen Plasma Abscheidung

Patentierte Reaktortechnologie:
Ellipsoidförmigeal Mikrowellen- Plasmareaktoren

Für die Herstellung von CVD Diamantscheiben wurden ellipsoidförmige Mikrowellen-Plasmareaktoren entwickelt. Sie erlauben die Abscheidung von sehr phasenreinem, hochwertigen Diamant auf großen Flächen. Die Reaktoren wurden in zwei Versionen realisiert, einer kleinen Version, die mit 2.45 GHz Mikrowellenfrequenz und 6-12 kW Leistung arbeitet und einer hochskalierten Version, die mit einem 60 kW / 915 MHz Mikrowellengenerator ausgerüstet ist. Das Design dieser Reaktoren basiert auf umfangreichen, numerischen Simulationsrechnungen.